Центрифуга нанесения фоторезиста Laurell серия 650

Установка нанесения фоторезиста Laurell Spin Coater позволяет наносить фоторезист на пластины диаметром до 300 мм. Отлично подходит для исследовательских задач и мелкосерийном производстве при работе с разными материалами. Назначение:

нанесение тонких органических полимеров, различных оксидов из растворов и магнитных пленок, а также оптических покрытий;
нанесение фоторезистивных слоев.

Имеет закрытую чашу, что позволяет высохнуть материалу в спокойном состоянии.

Основные преимущества:

компактный дизайн для настольного применения;
цветной сенсорный дисплей, удобный графический интерфейс пользователя;
коррозионностойкое исполнение;
дозирующие насадки для использования до 4х различных фоторезистов одновременно;
удобный интерфейс.

Опционально доступно большое количество функций:

адаптеры для любого вида подложек;
автоматический дозатор;
отмывка края подложки;
дистанционное управление на планшете;
конструктивная совместимость с перчаточным боксом

Технические характеристики:

Камера 9,5’’
Настольное исполнение
Возможность работы с пластинами диаметром до 300 мм
Скорость вращения: 0-12.000 об/мин
Ускорение 200 об/с2
Таймер: 1 с до 99 мин. 59.9 с, шаг 0,1 с
Позволяет хранить до 20 рецептов в памяти (до 51 шагов в рецепте)
Полипропиленовый корпус
Полипропиленовый вакуумный держатель Ø1,75" (45 мм) для подложек 50-150 мм
Специальный адаптер-держатель (крепится поверх стандартного держателя) для работы с образцами размером 10-50 мм
Полипропиленовый резервуар емкостью 250 мл для сбора отходов
Цифровой контроллер для программирования параметров процесса
Встроенный интерфейс SPIN 3000 и интуитивное ПО для управления
Высокопроизводительный привод HPD-2
Прозрачная ECTFE крышка (открывается вверх)
Слив Ø38 мм и порт продувки азотом
Наличие защитных блокировок для безопасной работы оператора
Питание 95-240 ВAC, 47/63 Гц, 300 Вт

Форма поиска

Центрифуга нанесения фоторезиста Laurell серия 650