ДОСТАВКА ПО РОССИИ И СТРАНАМ СНГ
РЕЖИМ РАБОТЫ
09.00-18.00, пн-пт

Промышленные системы вакуумного напыления с горизонтальной или вертикальной обработкой стеклянных или металлических подложек, серия Line

Область применения:

  • Фотовольтаика;
  • Напыление прозрачных проводящих оксидов (TCO);
  • Создание прозрачных электродов на базе ITO пленок;
  • Производство дисплеев;
  • Промышленное производство архитектурного стекла;
  • Нанесение защитных покрытий на листовой металл;

Особенности:

  • Поточная линия с вертикальной или горизонтальной обработкой;
  • Возможность работы с подложками шириной до 2,2 м и длиной до 4 м;
  • Возможна конфигурация для нанесения покрытий с двух сторон в одном процессе;
  • Специальная конструкция вертикального подложка держателя обеспечивает напыление без затемненных областей;
  • Магнетроны нескольких типов (планарные или цилиндрические);
  • Автоматизированная система управления на базе PLC;
  • Быстрый и легкий доступ ко всем элементам системы;
  • Высочайшее немецкое качество компонентов и сборки;
 Технические характеристики
Размер подложекПлоские подложки
Ширина до 2200 мм
Высота до 4000 мм
Материал подложекСтекло, металл
Режимы напыленияDC, MF, RF
Осаждаемые материалыМеталлы: Cu, Cr, Al, In, Ga, Mo, Ag
Сплавы: CuIn, CuGa
Оксиды: ZnO, InSnO, ITO, Al2O3, TiO2
Нитриды: TiN, Si3N4
Температура подложки25 - 200˚С
Число рабочих камер4 – 12
Рабочее давление1 х 10-6 мбар
Макс. Производительность>100 м2
Равномерность слоя± 3-5%
Время пребывания в работоспособном состоянии (up-time)> 85%
Дополнительные опцииКомпоновка системы согласно индивидуальным требованиям заказчика;
Автоматизированная загрузка подложек с помощью робота;
Станции предварительной и пост очистки поверхности;
Дополнительное охлаждение подложки;