Область применения:
Особенности:
Технические характеристики | |
Размер подложек | Плоские подложки Ширина до 2200 мм Высота до 4000 мм |
Материал подложек | Стекло, металл |
Режимы напыления | DC, MF, RF |
Осаждаемые материалы | Металлы: Cu, Cr, Al, In, Ga, Mo, Ag Сплавы: CuIn, CuGa Оксиды: ZnO, InSnO, ITO, Al2O3, TiO2 Нитриды: TiN, Si3N4 |
Температура подложки | 25 - 200˚С |
Число рабочих камер | 4 – 12 |
Рабочее давление | 1 х 10-6 мбар |
Макс. Производительность | >100 м2/ч |
Равномерность слоя | ± 3-5% |
Время пребывания в работоспособном состоянии (up-time) | > 85% |
Дополнительные опции | Компоновка системы согласно индивидуальным требованиям заказчика; Автоматизированная загрузка подложек с помощью робота; Станции предварительной и пост очистки поверхности; Дополнительное охлаждение подложки; |