ДОСТАВКА ПО РОССИИ И СТРАНАМ СНГ
РЕЖИМ РАБОТЫ
09.00-18.00, пн-пт
Корзина (0)
Установка реактивно-ионного травления Vision 420 RIE
- диэлектриков: оксидов, нитридов, оксидов металлов
- материалов: кремний, германий, GaAs, GaN, InP, InGaAs
- полимеров: фоторезист, полиимиды, BCB, SU-8
Особенности:
- Идеально подходит для мелкосерийного производства МЭМС, LEDs, приборов беспроводной связи
- Групповая и одиночная обработка пластин на электроде большого диаметра
- Инновационный дизайн газового душа обеспечивает высокую равномерность распределения подводимого газа
- Высокая равномерность (<±3%)
- Низкий уровень дефектности
- Надежность
- Минимальные интервалы технического обслуживания
| Технические характеристики | |
| Размер столика (электрода) | 16" (400 мм) |
| Температура столика (электрода) | 20-25⁰С |
| Материал столика (электрода) | Графит или Оксид алюминия |
| RF мощность верхнего электрода | 600Вт, 13,56МГц |
| Вакуумный насос | 300 л/с турбонасос Edwards с магнитным подвесом |
| Минимальное давление | <2x10e-6 Торр |
| Контроль давления | Автоматический, 0-2 Торр |
| Газовые линии | 4 линии |
| Система контроля | Аналого-цифровая (совместимость с SECS/GEM) |
| Операционная оболочка | Cortex (на базеWindows 7) |
| Требования к электропитанию | 220/230 В, 50/60Гц, 3 фазы 380/415В, 50Гц, 3 фазы |
| Размеры | Высота 224см Глубина 114.6см Ширина 67.0 см |
| Опции | Источник питания 1000Вт, 13,56МГц; 2600 л/с сухой форвакуумный насос; Endpoint для очистки камеры: OES/Laser; Дополнительные газовые линии (до 8 линий); |