Cистемы вакуумного напыления кластерного типа для мелкосерийного производства и НИОКР, серия Star

Область применения:

• Микроэлектроника, МЭМС;
• Производство оптических систем;
• Производство датчиков;
• Производство дисплеев.

Особенности:

• Возможность использовать до 6 технологических модулей;
• Возможность работать с подложками диаметром от 50 до 300 мм;
• Позволяет реализовать процессы магнетронного, термического, электронно-лучевого напыления (PVD), плазмохимического осаждения (PECVD), атомно-слоевого осаждения (ALD), плазменного травления (PE/RIE), термического отжига (RTP/FLA) в одной системе;
• Ручная загрузка или работа из кассеты в кассету;
• Автоматизированная система управления на базе Siemens SPS и HMI-интерфейса;
• Быстрый и легкий доступ ко всем модулям системы;
• Установка в условиях чистых помещений;
• Возможность сконфигурировать систему для задач НИОКР и мелкосерийного производства;
• Высочайшее немецкое качество компонентов и сборки.