Вакуумные роботы-манипуляторы

Рука-робот предназначена для перемещения образцов. Роботы-манипуляторы обеспечивают двухосевое (R, θ) или трехосевое (R, θ, Z) движение. На всех моделях возможно установить одинарный или двойной подложкодержатель.

Роботы перемещения пластин Hine Automation разработаны для:

• Работы с изделиями, требующими минимальный уровень вибрации
• Процессов, требующих минимальное число сторонних частиц
• Высоких показателей производительности и надежности
• Среды сверхвысокого вакуума

Особенности:

• Компактный, эргономичный дизайн
• Встроенный механизм движения
• Высокая точность позиционирования
• Процессор, управляющий электронными компонентами
• Возможность проектирования длины руки робота по требованию заказчика