Модель |
COWIN-40 |
Конфигурация процесса | PE (плазменное травление) |
Вакуумная камера, Ш*Г*В, мм |
330*350*340 |
Генератор | LF - генератор 20 – 110 кГц, 300 Вт LF - генератор 13,56 МГц, 300 Вт |
РРГ | Max 500 sccm |
Датчик измерения вакуума | Артм…. 5 x 10-4 Torr |
Управление | Ручное и автоматическое |
Размер установки, Ш*Г*В, мм |
800*800*1800 |
Конфигурация электродов | Многоэлектродная камера Все электроды спроектированы с одинаковым импедансом, с надежными значениями постоянного напряжения и тока. Для каждого электрода происходит независимый разряд. Одноэлектродная камера Водяное охлаждение, высококачественная керамическая изоляция, крышка для защиты от радиочастотных помех. |
Травление Графена |
Формирование химических соединений |
Стерилизация |
Культивирование клеток |
Анизотропная абсорбция |
Обработка органики |
Повышение Гидрофильности графена |
Очистка |