Модель |
COWIN-40 |
| Конфигурация процесса | PE (плазменное травление) |
| Вакуумная камера, Ш*Г*В, мм |
330*350*340 |
| Генератор | LF - генератор 20 – 110 кГц, 300 Вт LF - генератор 13,56 МГц, 300 Вт |
| РРГ | Max 500 sccm |
| Датчик измерения вакуума | Артм…. 5 x 10-4 Torr |
| Управление | Ручное и автоматическое |
| Размер установки, Ш*Г*В, мм |
800*800*1800 |
| Конфигурация электродов | Многоэлектродная камера![]() Все электроды спроектированы с одинаковым импедансом, с надежными значениями постоянного напряжения и тока. Для каждого электрода происходит независимый разряд. Одноэлектродная камера ![]() Водяное охлаждение, высококачественная керамическая изоляция, крышка для защиты от радиочастотных помех. |
![]() Травление Графена |
![]() Формирование химических соединений |
![]() Стерилизация |
![]() Культивирование клеток |
![]() Анизотропная абсорбция |
![]() Обработка органики |
![]() Повышение Гидрофильности графена |
![]() Очистка |