Быстрые термические процессы
Компания ЗЭНКО ПЛАЗМА является официальным дистрибьютором компании AllWin21 Corp. AllWin21 Corp. производит высококачественное оборудование AccuThermo для быстрых термических процессов (RTP, RTA, RTO, RTN). Все установки имеют охлаждаемую алюминиевую камеру с золотым покрытием, что является уникальным в данном сегменте оборудования. Большое количество ламп нагрева, разделенных на 4 блока, обеспечивают равномерный двухсторонний нагрев пластин. Гибкая конфигурация позволяет установить от одной до шести газовых линий, подложкодержатели из различных материалов и под различный размер пластин (от 50мм до 300мм), пирометр для бесконтактного измерения температуры и т.д.
AllWin21 Corp. производит системы AccuThermo для проведения процессов при атмосферном давлении и при пониженном давлении, с различным объемом загрузки, что позволяет выбрать систему, полностью удовлетворяющую конечного пользователя.
- атмосферные (модели AW410, AW610, AW810, AW820),
- вакуумные (модели AW610V, AW820V).
Установка AccuThermo AW410:
- Установка AccuThermo AW410 – младшая модель для обработки 1 пластины до 4”.
- Диапазон рабочих температур 150⁰С - 1150⁰С
- Скорость нагрева до 200⁰С/
- Скорость охлаждения до 250⁰С/c
Установка AccuThermo AW610:
- Установка AccuThermo AW610 – наиболее популярная модель для обработки 1 пластины 6” или 4 пластин 2” .
- Диапазон рабочих температур 150⁰С - 1150⁰С
- Скорость нагрева до 200⁰С/
- Скорость охлаждения до 250⁰С/c
- Есть вариант вакуумного исполнения – модель AW610V
Установка AccuThermo AW810:
- Установка AccuThermo AW810 – старшая среди настольных моделей для обработки 1 пластины 8” или 16 пластин 2” .
- Диапазон рабочих температур 150⁰С - 1150⁰С
- Скорость нагрева до 200⁰С/
- Скорость охлаждения до 250⁰С/c
Установка AccuThermo AW820:
- Установка AccuThermo AW820 – младшая напольная модель для обработки 1 пластины 8” или 16 пластин 2”
- Диапазон рабочих температур 150⁰С - 1150⁰С
- Скорость нагрева до 200⁰С/
- Скорость охлаждения до 250⁰С/c
- Есть вариант вакуумного исполнения – модель AW820V