Атмосферные роботы-манипуляторы

Робот-манипулятор предназначен для перемещения полупроводниковых подложек размером до 200 мм в кассеты и из кассет. Данный робот - надежный и не привносящий дефектов механизм перемещения подложек для работы при атмосферном давлении. Благодаря встроенному контроллеру, для интеграции с системами OEM требуется только питание и интерфейс связи. HAtm-4.0 обладает набором команд, идентичных большинству центральных роботов и может быть использован в качестве его замены.