Настольная установка магнетронного напыления DST3

DST3 – настольная установка магнетронного напыления с тремя магнетронами, диаметром 2" (50мм). Позволяет напылять металлы, диэлектрики, полупроводники на подложки диаметром до 200мм.

Доступны 2 конфигурации:

• DST3 А – с 30˚ наклоном катодов
• DST3 S – катоды выстроены с линию

Особенности:

• Простая конструкция и дружественный интерфейс позволяют оператору легко и быстро проводить обработку образцов
• Позволяет проводить процесс последовательно или одновременно с трех катодов.
• Вакуумная камера диаметром 12" позволяет работать с образцами и п/п пластинами диаметром до 200мм
• Благодаря материалу Pyrex, можно легко производить очистку рабочей камеры
• Цветной, сенсорный экран позволяет просматривать лог-файлы последних 200 процессов напыления
• Графическое отображение давления, толщины и тока во время процесса позволяет с высокой точностью управлять процессом напыления
• Автоматический контроль температуры катодов
• Ручная и автоматическая обработка
• Напыление по времени или по требуемой толщине
• Высокоточная система контроля толщины на основе кварцевого датчика
• Защита от перегрева образца
• Прецизионный регулятор потока (MFC) для подачи Ar в камеру
• Перенос параметров процесса на USB носитель