Вакуумное оборудование
Вакуумное оборудование играет важную роль в развитии современных технологий и находит свое применение при разработке технологического и промышленного производства, в системах вакуумной упаковки, в производстве полупроводников, в медицине, в химических и металлургических производствах, при имитации космического пространства и в области научных исследований, где для проведения большинства процессов требуется создание вакуума.
| Сфера применения | ||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Степень вакуума | Давление (мбар) | Сублима- ционная сушка | Упаковоч- ная промыш- ленность | Дегазация | Литейная промыш- ленность | Сухая вакуумная плавка | Производ- ство ламп накаливания | Электрон- ная микроско- пия |
| Низкий вакуум | 1000 - 1 | |||||||
| Средний вакуум | 1 - 10-3 | |||||||
| Высокий вакуум | 10-3- 10-7 | |||||||
| Сверх высокий вакуум | 10-7- 10-12 | |||||||
| Сфера применения | |||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Степень вакуума | Давление (мбар) | Ядерная физика | Физика плазмы | Физика высоких энергий | Ускорите- ли частиц | Электрон- но-лучевые трубки | Нанесение тонких пленок | Симуля- ция космиче- ского прост- ранства | Криоген- ные иссле- дования |
| Низкий вакуум | 1000 - 1 | ||||||||
| Средний вакуум | 1 - 10-3 | ||||||||
| Высокий вакуум | 10-3- 10-7 | ||||||||
| Сверх высокий вакуум | 10-7- 10-12 | ||||||||
Для построения вакуумных линий и обеспечения их соединения между собой применяются специализированные фитинги, запорно-регулирующая арматура для возможности разделения вакуумных объемов, вакуумные насосы и вакуумные откачные системы, состоящие из нескольких насосов для создания необходимой глубины вакуума.
В зависимости от глубины вакуума могут быть использованы различные типы насосов их комбинаций:
| Тип насоса | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Степень вакуума | Давление (мбар) | Диафрагмен- ный | Пластинчато- роторный | Вихревой | Криогенный | Турбо- молекуляр- ный | Ионно- геттерный |
| Низкий вакуум | 1000 - 1 | ||||||
| Средний вакуум | 1 - 10-3 | ||||||
| Высокий вакуум | 10-3- 10-7 | ||||||
| Сверх высокий вакуум | 10-7 - 10-12 | ||||||
Многие современные технологические процессы, проходящие в вакууме требуют контроля давления в широком диапазоне. Так как не существует способа измерения всего требуемого диапазона давлений от атмосферы до глубокого вакуума, используются датчики, основанные на разных принципах действия:
| Тип датчика | |||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Степень вакуума | Давление (мбар) | Термо- парный | Стрелоч- ный | Тензо | Мембра- нноем- костной | Пирани | Конвек- ционный | Мембра- нноем- костный | Широко- диапа- зонный | Инверсно- магни-тронный | Иониза- ционный |
| Низкий вакуум | 1000 - 1 | |
|
|
| | ||||||
| Средний вакуум | 1 - 10-3 | |
|
|
| | ||||||
| Высокий вакуум | 10-3 - 10-7 | Сверх высокий вакуум | 10-7 - 10-12 | ||||||||