Криогенные насосы

Криогенные вакуумные насосы являются оптимальным откачным средством для применений, требующих глубокого безмасляного вакуума и больших скоростей откачки. При этом, они обеспечивают высокую производительность не только по наиболее распространенным газам, но и по водяному пару, удаление которых традиционно представляет большую проблему для прикладных процессов в вакууме.

Сферы применения:

• полупроводниковая промышленность: осаждение методом распыления, ионная имплантация, производство тонких пленок (вакуумное испарение) и LCD/OLED
• научные исследования, в том числе в оснащении ТОКАМАКов, экспериментальных термоядерных реакторов (ИТЭР), ускорителей заряженных частиц ( коллайдеров )
• имитаторы космического пространства
• металлургия чистых металлов
• установки термоядерного синтеза.

Преимущества:

• ценовая доступность – по сравнению с насосами аналогичной производительности и чистоты получаемого вакуума. Также, уровень цен на криогенные вакуумные насосы ZP-DU ощутимо ниже, чем на изделия американского или японского производства.
• высокая надежность – наличие 2 международных патентов, криоголовки производства Японии. Наработка до первого обслуживания – не менее 30 000 рабочих часов.
• низкие затраты на обслуживание в связи с наличием авторизованного сервисного центра в Москве, выполняющего работы не только по плановому обслуживанию, но и по восстановлению оборудования. 

Базовая серия – высокопроизводительные насосы с присоединительными фланцами DN200-DN500, которые широко используются для производства LCD/OLED, вакуумного напыления и испарения. Обладают очень хорошей устойчивостью к тепловому воздействию. Уникальный дизайн первой ступени насоса, конденсирующей пары воды - радиальные элементы, в отличии от стандартных поперечных элементов, обеспечивают лучшую проходимость Ar/N2/H2, конденсирующихся на второй ступени насоса или поглощающихся угольным фильтром.Также, эти модели имеют расширенную емкость второй ступени насоса/ площадь криопанели, позволяющую конденсировать больше Ar/N2; имеют больший интервал между регенерациями.

	Криогенный насос ZP-DU320
	Производительность по Азоту:	4,000 л/с	Наличие:	✔
	Производительность по Водороду:	6,000 л/с	Цена (руб.):	По запросу
	Производительность по Аргону:	3,300 л/с
	Производительность по Парам воды:	10,000 л/с	Подробнее
	Фланец:	ISO320 UVG-300

	Криогенный насос ZP-DU400
	Производительность по Азоту:	5,000	Наличие:	✔
	Производительность по Водороду:	10,000	Цена (руб.):	По запросу
	Производительность по Аргону:	4,500
	Производительность по Парам воды:	16,000	Подробнее
	Фланец:	ISO400 16”CVC UVG400

	Криогенный насос ZP-DU500
	Производительность по Азоту:	10,000	Наличие:	✔
	Производительность по Водороду:	16,000	Цена (руб.):	По запросу
	Производительность по Аргону:	8,500
	Производительность по Парам воды:	29,000	Подробнее
	Фланец:	ISO500 UVG500

С эргономичным дизайном - специальный F-дизайн, обладает значительно меньшим габаритными размерами.

	Криогенный насос ZP-DU320F
	Производительность по Азоту:	4,000 л/с	Наличие:	✔
	Производительность по Водороду:	6,000 л/с	Цена (руб.):	По запросу
	Производительность по Аргону:	3,300 л/с
	Производительность по Парам воды:	10,000 л/с	Подробнее
	Фланец:	ISO300 UVG-300

	Криогенный насос ZP-DU400F
	Производительность по Азоту:	5,000 л/с	Наличие:	✔
	Производительность по Водороду:	10,000 л/с	Цена (руб.):	По запросу
	Производительность по Аргону:	4,500 л/с
	Производительность по Парам воды:	16,000 л/с	Подробнее
	Фланец:	ISO400 16”CVC UVG400

	Криогенный насос ZP-DU500F
	Производительность по Азоту:	5,000 л/с	Наличие:	✔
	Производительность по Водороду:	10,000 л/с	Цена (руб.):	По запросу
	Производительность по Аргону:	4,500 л/с
	Производительность по Парам воды:	16,000 л/с	Подробнее
	Фланец:	ISO500 UVG500

Контроллер позволяет полностью контролировать температуру захолаживания первой ступени, предотвращая «зависание» Ar.

Принцип работы состоит в конденсации молекул газа на охлажденных поверхностях. Газы накапливаются в твердой фазе, таким образом, насос способен аккумулировать их в большом количестве. После наполнения, производится регенерация насоса, после чего он снова готов к работе.

Криоголовка криогенного насоса состоит из 2 ступеней:

• Первая ступень (входная) конденсирует молекулы водяного пара и тяжелые углеводороды при температурах около 35-77 К.
• Вторая ступень (конденсирующая) захватывает молекулы аргона, азота, кислорода и других газов при температурах от 10-20 К. Те газы (например, водород и гелий), которые не переходят в твердую фазу при данных температурах, адсорбируются на активированном угле при температурах около 9-20 К.

Комплект поставки включает все необходимые элементы для запуска и работы насоса: гелиевый компрессор, полимерные трубки для подачи гелия, кабель криоголовки, температурный контроллер с дисплеем и соединительными кабелями, нагревательную рубашку и клапан напуска.

О сервисе

	Доставка по Москве и МО на следующий день после заказа.
	Доставка по всей России и СНГ.
	Наличие на складе и возможность поставки в сжатые сроки под потребности Заказчика.
	Расширенная гарантия и специальные цены для OEM производителей.
	Гибкие условия оплаты
	Работа по 44-ФЗ, 223-ФЗ, Гос Контрактам и ГОЗ ( государственному оборонному заказу ), по спец. Счетам и с казначейским сопровождением.
	Собственный сервисный центр по ремонту криогенных насосов.

Среди постоянных клиентов более 70 отечественных предприятий, в том числе: