Размер образца | От 100 мкм до 200 х 200 мм |
Размер подложкодержателя | 200 х 200 мм |
Диапазон измеряемых толщин | 1 нм – 1000 мкм (в зависимости от модели)
|
Размер пучка | 200 – 4 мкм (опционально 2 мкм с объективом 100х и оптоволокном Vis200) |
Спектральное разрешение | < 2 нм |
Точность | 0,2% либо 1 нм |
Воспроизводимость | 0,02 нм либо 0,03% |
Питание | 100-250 В, 50/60 Гц, 20 Вт |
Габаритные размеры (ШхГхВ) | Основной блок: 20 х 25 х 10 см Микроскоп: 31 х 31 х 51 см |
Дополнительные опции | Моторизованный столик 150 х 150 мм, или 200 х 200 мм, или 300 х 300 мм; Включает котроллер и ПО для функции картографирования; Стабильность позиционирования 1 мкм (с шагом 0,5 мкм); Конфигурация для измерения спектров пропускания; Оптоволокно Vis200, позволяет уменьшить размер пятна измерения в 2 раза (2 мкм с объективом 100х, 4 мкм с объективом 50х); 2-ух канальный переключатель, позволяет одновременно измерять спектры отражения и пропускания; Адаптер для микроскопа с камерой, позволяет получать изображение образца и точно обозначать точку измерения. В комплект входит камера SCMOS/окуляр; Объектив APO 100x (видимый диапазон) 95 мм с парфокальным расстоянием R=0,7 мкм; Объективы для работы в NIR области; Окулярная камера (2MP). Доступны к заказу также другие камеры; Удаленное управление через протокол Modbus. |