Промышленное вакуумное оборудование предназначено для применения на промышленных предприятиях в таких сферах применения как: химическая промышленность, горнодобывающая промышленность, вакуумная металлизация, стекольное производство, кирпичное производство, вакуумно-индукционная плавка, деревообрабатывающая промышленность, нанесение покрытий, прокатка алюминия, производство светофильтров и линз, производство кожаных изделий, ядерная промышленность, производство солнечных элементов и т.д. К промышленному вакуумному оборудованию относятся промышленные вакуумные насосы, промышленные вакуумные системы и различные расходные элементы для них, такие как вакуумные шланги, вакуумные фильтры и тд.
| Сфера применения | ||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Степень вакуума | Давление (мбар) | Сублима- ционная сушка | Упаковоч- ная промы- шленность | Дегазация | Литейная промыш- ленность | Сухая вакуумная плавка | Производ- ство ламп накали- вания | Электронная микроско- пия |
| Низкий вакуум | 1000 - 1 | |||||||
| Средний вакуум | 1 - 10-3 | |||||||
| Высокий вакуум | 10-3 - 10-7 | |||||||
| Сверх высокий вакуум | 10-7 - 10-12 | |||||||
| Сфера применения | |||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Степень вакуума | Давление (мбар) | Ядерная физика | физика плазмы | Физика высоких энергий | Ускори- тели частиц | Электрон- но- лучевые трубки | Нанесение тонких пленок | Симуляция простран- ства косми- ческого | Криоген- ные иссле- дования |
| Низкий вакуум | 1000 - 1 | ||||||||
| Средний вакуум | 1 - 10-3 | ||||||||
| Высокий вакуум | 10-3 - 10-7 | ||||||||
| Сверх высокий вакуум | 10-7 - 10-12 | ||||||||
Для построения вакуумных линий и обеспечения их соединения между собой применяются специализированные фитинги, запорно-регулирующая арматура для возможности разделения вакуумных объемов, вакуумные насосы и вакуумные откачные системы, состоящие из нескольких насосов для создания необходимой глубины вакуума.
В зависимости от глубины вакуума могут быть использованы различные типы насосов их комбинаций:
| Тип насоса | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Степень вакуума | Давление (мбар) | Водоколь- цевой | Когтевой | Золотни- ковый | Винтовой | Рутса | Диффузион- ный |
| Низкий вакуум | 1000 - 1 | ||||||
| Средний вакуум | 1 - 10-3 | ||||||
| Высокий вакуум | 10-3- 10-7 | ||||||
| Сверх высокий вакуум | 10-7 - 10-12 | ||||||