Размер образца | От 4 мм |
Диапазон измеряемых толщин | 1 нм – 1000 мкм (в зависимости от модели)
|
Размер пучка | 2 мм (опция до 3 мкм) |
Спектральное разрешение | < 2 нм |
Точность | 0,2% либо 1 нм |
Воспроизводимость | 0,02 нм либо 0,03% |
Питание | 100-250 В, 50/60 Гц, 20 Вт |
Габаритные размеры (ДхШхВ) | 20 х 25 х 10 см |
Дополнительные опции | Подложкодержатель для образцов размером до 200 х 200 мм; Функция автоматического измерения по пластине диаметром до 300 мм; Ахроматическая фокусирующая линза, WD 35 мм, размер пятна <0,5 мм; Широкополосный фильтр, ограничивает длину волны до 500 нм (применяется для измерений фоторезиста); Держатель для работы с прозрачными и гибкими образцами (обеспечивает крепление образца лицевой поверхностью вниз); Конфигурация для измерения спектров пропускания; 2-ух канальный переключатель, позволяет одновременно измерять спектры отражения и пропускания; Улучшенный спектрометр с разрешением < 1 нм; Удаленное управление через протокол Modbus. |