Настольная установка Импульсного Лазерного осаждения. Модель PLD-T (Pulsed Laser Deposition)
PLD–T - это высоковакуумная система осаждения тонких пленок, позволяющая осаждать различные материалы как методом импульсного лазерного осаждения, так и методом термического испарения. Онf может наносить сложные материалы и кристаллические структуры на подложки с очень небольшим количеством настроек. Метод импульсного лазерного осаждения приводит к эффективной, нетепловой абляции и сохраняет стехиометрию материалов-мишеней. Применяя этот метод, он может осаждать такие материалы, как нитриды, оксиды, сверхрешетки, полимеры, композиты. PLD–T оснащен многоцелевым манипулятором, который включает в себя три мишени диаметром 2 см. Мишени имеют стандартный размер. Все манипуляторы моторизованы и включают вращение мишеней. Установка может быть оснащена тремя независимыми термостойкими источниками термического испарения. Хорошая конструкция держателя источника испарения не приводит к переносу загрязнений из исходных материалов в другие материалы. Длину держателей источников можно регулировать в диапазоне 5~10 см, что соответствует требованиям заказчика.
Основные особенности:
- Система мониторинга кварцевым кристаллом, используемая для измерения толщины пленке в режиме реального времени (точность 1 нм)
- Интуитивно понятный сенсорный экран для управления и мониторинга процесса нанесения покрытия с возможностью быстрого ввода данных
- Удобное программное обеспечение, которое можно обновлять по сети
- Возможность записи и построения графиков параметров покрытия
- Соответствие CE
Основные технические параметры модели DCR:
Технические характеристики |
|
| Вакуумная камера | Диаметр 300 мм, Высота 140 мм Материал нержавеющая сталь 304. Крышка сверху |
| Мощность источника питания | Широкодиапазонный |
| Высоковакуумный турбомолекулярный насос | 90 л/с (7*10-6 Торр) либо 350 л/с (7*10-7 Торр) |
| Расстояние между магнетроном и подложкой | Регулируемое, 3-8 см |
| Форвакуумный насос | 2-ступенчатый роторно-пластинчатый насос, 4 м3/ч |
| Система управления | На основе PLC Цветной, сенсорный экран 7" |
| Питание | 220 Вт, 50 Гц, 16 А |
| Вес в переносном ящике | 70 кг |
| Габаритные размеры (ШхГхВ) |
50см х 47см х 60см |
| USB-порт | Наличие |
| Возможность записывать и выводить на печать графики и параметры напыления |
Наличие |
| Дополнительные опции | Кристаллы кварца для датчика толщины Источники теплового испарения (Лодочка, корзина и спираль) Устройство нагрева подложек (до 500С) Испаряемые материалы Уплотнения |
Панель управления:
Настольная установка для нанесения углеродного покрытия оснащена 7-дюймовым цветным сенсорным экраном с полностью автоматическим управлением и вводом данных, которым могут управлять даже неопытные пользователи. Информацию о вакууме, токе и осаждении можно отслеживать в виде цифровых данных или кривых на сенсорном экране. Информацию о последних 300 покрытиях можно найти в памяти устройства в меню управления.