ДОСТАВКА ПО РОССИИ И СТРАНАМ СНГ
РЕЖИМ РАБОТЫ
09.00-18.00, пн-пт
Корзина (0)
Вакуумный загрузочный модуль
Вакуумный загрузочный модуль предназначен для вакуумной обработки из кассеты в кассету для полупроводниковых подложек размером до 300 мм. Данный загрузочный модуль является идеальным решением для высоких объемов производства и может быть сконфигурирован в кластер в зависимости от ваших требований.
Особенности:
- Вакуумный загрузочный модуль с одной или двумя кассетами
- Транспортный модуль поддерживает работу нескольких рабочих камер
- Интерфейсы MESC для пластин 200 и 300 мм
- Независимое подключение позволяет получить доступ ко всем компонентам системы
- Решения для всех уровней производительности
- Область применения: RIE, ICP Etch, PECVD, HD PECVD, ALD и PVD
| Параметр | HA-200 | HA-400 | HA-500 | HA-600 | HA-800 |
| Размер пластины | ≤ 200 мм | ||||
| Число сторон | 4 | 4 | 5 | 6 | 8 |
| Количество шлюзов загрузки | 1 | 1 | 2 | 2 | 2 |
| Пластин в кассете | 25 или 50 | ||||
| Максимальная грузоподъемность | 4,5 кг | ||||
| Рабочее давление | <5.00 х 10-7 Торр | ||||
| Натекание | 5.00 х 10-9 см3 He/c | ||||
| Питание | 220В 20А 1Ø | ||||
| Электрическая интеграция | Да | ||||
| Макс. температура | 100⁰C | ||||
| MCBF (циклов до ошибки) | >1 х 106 | ||||
| MTTR (время на исправление) | <2 часов | ||||
| Материалы | 6061‐T6 Al, нержавеющая сталь 300 и 400 серий, Viton, БСС | ||||
| Интерфейс управления | RS‐232 / Ethernet | ||||