Кассетные шлюзы загрузки пластин

Вакуумные и атмосферные шлюзы загрузки пластин ориентированы на широкий уровень производительности (4, 25 или 50 пластин). Возможны следующие типы шлюзов:

CLP (Cassette Load Port) – Вакуумные шлюзы загрузки из кассеты в кассету для 25 и 50 пластин

ALP - Атмосферные шлюзы загрузки из кассеты в кассету для 25 пластин

MLP (Mini Load Port) - Вакуумные шлюзы загрузки для кассет от 1 до 4 пластин

Особенности:

• В конструкции используются подъемники Hine нового поколения
• Возможность работы с прозрачными и непрозрачными пластинами
• Автоматическое определение наличия пластины и ее положения в кассете
• Интерфейсы управления RS232 / Ethernet
• Защитные блокировки
• Возможна конфигурация для работы в среде высокого вакуума