Установка для нанесения Париленовых покрытий. Модель LAVIDA-1000H
Парилен (Полипараксилилен) – уникальное влагозащитное покрытие. Плёнка формируется одновременно по всей поверхности подложки независимо от профиля её поверхности, и образует на ней защитный однородный по толщине слой. На данный момент достаточно широкое применение нашли три марки парилена: Parylene C, N, D. Париленовое покрытие представляет собой высокополимерное покрытие, которое образуется в вакуумной камере в виде газа в результате испарения. Затем оно осаждается на предназначенный материал, образуя слой толщиной от нескольких нанометров до микрометра. Независимо от формы изделия, оно обладает характеристиками конформного покрытия. Он химически очень стабилен и обладает отличными характеристиками в качестве защитного слоя. Он используется для изоляции электронных и электрических материалов и придания им водонепроницаемости. Это также биосовместимый материал, одобренный FDA, который используется для покрытия поверхностей медицинских устройств, для защиты инженерных устройств и т.п.
Области применения:
- Влагозащитные диэлектрические покрытия для изделий радио микроэлектроники (печатные платы, гибридные
микросборки и др.) - Биосовместимые и биостабильные покрытия для медицины (протезирование, имплантаты, инструмент)
- Защита бумаги (книги, рукописи и др.), картографической продукции, исторических и культурных ценностей
(архивные документы, музейные экспонаты и др.) - Мембраны
- Оптика
Параметр |
LAVIDA-1000H |
| Испаритель | Нагреватель испарителя: ~ 200℃ (± 2 ~ 3℃) Дверной обогреватель для термоблокировки: Комнатная температура~ 200 ℃ (± 2 ~ 3℃) Грузоподъемность димера: Макс. 750 г. Настройка температуры: До 10 ступеней (Темп. и Время) |
| Пиролизатор | Диапазон температур: Комнатная температура ~ 900℃ (± 2~3℃) Обогреватель: 3 зональных (независимых) обогревателя Датчик температуры: 2-проводной датчик типа K x 3 шт (каждый датчик для каждого нагревателя) Материал трубки: Кварц |
| Камера осаждения | Размер камеры: Диаметр 950 мм, высота 1200 мм. Вертикальная камера Широкий диапазон вращения: 1-10 об/мин Эффективная Площадь Покрытия: Размер Подложки: Макс. Диаметр 610 мм |
| Пробоотборная насадка | Доступный максимальный размер образца загрузки: 12 дюймов Тип зажима: Многослойный алюминиевый Запрограммированная Скорость Вращения |
| Ловушка охлаждения | Диапазон температур: - 80 ℃ ~ Комнатная температура (± 2 ~ 3 ℃) |
| Вакуумный насос | Вакуумный насос: Механический бустерный насос и комплект роторных насосов Главный откачной клапан: Пневматический рабочий клапан с возможностью плавной откачки Выпускной клапан: 2 отверстия 1/2 дюйма, пневматический клапан управления Вентиляционная линия: Многопозиционный впрыск вентиляционного газа (азота) с фильтром Измерение давления: вакуумметр Пирани с диапазоном 760 ~ 1 мТорр Автоматический режим: сохраняется как часть рецепта процесса |
| Контроллер | Контроллер: DSP встроенный контроллер сигнала Полностью автоматическое и ручное (полуавтоматическое) управление с помощью 10,2-дюймового сенсорного ПК Рецепты обработки можно сохранять и создавать рецепты для конкретного пользователя Отображение в реальном времени для мониторинга состояния и ошибок (Опт.) Отображение в реальном времени для построения графиков |
Графики роста толщины:
