Одиночные шлюзы загрузки пластин разработаны, чтобы исключить необходимость откачивать вакуумную камеру перед каждым технологическим процессом. Одиночные шлюзы загрузки пластин обладают компактными размерами, оснащены программируемым двигателем, линейным механизмом движения. Это позволяет использовать их в качестве автоматизированного шлюза загрузки пластины в камеру.
Особенности:
Параметр | Star SL-200 | Star SL-300 | Star SL-450 |
Размеры пластин | ≤ 200мм | ≤ 300мм | ≤ 450мм |
Максимальная грузоподъемность | 1,5 кг | 1,5 кг | 5 кг |
Оси движения | R, Z | R, Z | R, Z |
Рабочее давление | 5.00 х 10-7 Торр | 5.00 х 10-7 Торр | 5.00 х 10-7 Торр |
Натекание | 1.00 х 10-9 см3 He/c | 1.00 х 10-9 см3 He/c | 1.00 х 10-9 см3 He/c |
Питание | 24В DC при 2А | 24В DC при 2А | 24В DC при 2А |
Макс. температура | 100⁰C | ||
Материалы | 6061‐T6 Al, нержавеющая сталь 300 и 400 серий, Viton, БСС, Crytox, Delrin, PEEK | ||
Интерфейс управления | RS‐232 / Ethernet | ||
MCBF (циклов до ошибки) | >3 х 105 | ||
Воспроизводимость (R, Z) | 0,15мм; 0,10мм | ||
Максимальный вылет | 305мм | 355мм | 635мм |