Вакуумные клапаны
Вакуумные клапаны - это устройства, которые регулируют поток газов, открывая или перекрывая магистраль.
Клапаны делятся на:
- Отсечные (служат для перекрытия вакуумной линии)
- Напуска (используются для напуска газа в откачиваемый объём)
- Дифференциального давления (устанавливаются на выхлоп насоса и используются для автоматического перекрытия вакуумной линии в случае отключения питания вакуумного насоса)
Напуска
|
|
Отсечные
|
|
|
Ручной клапан
Пневматический клапан
Электромагнитный клапан
Вакуумные клапаны могут быть оснащены ручным, пневматическим и электромагнитным приводом. Клапаны могут быть выполнены с сильфонным уплотнением штока, за счёт чего рабочий диапазон расширяется с 10-7 мбар до 10-8 мбар (с 10-5 Па до 10-6 Па). Также на вакуумных клапанах для высокого вакуума используется электрополировка поверхности внутренних узлов.
Рабочая среда – воздух или не коррозионные газы.
Вакуумные клапаны изготавливаются с фланцами KF, ISO, CF различных DN (ДУ, диаметров условного прохода).
