Системы вакуумного напыления с групповой обработкой подложек для мелкосерийного производства, серия Boxx

Область применения:

• Декоративное напыление;
• Производство оптических систем;
• Послойное напыление функциональных покрытий;
• Микроэлектроника, МЭМС.

Особенности:

• Ручная загрузка;
• Групповая обработка круглых или прямоугольных подложек;
• Возможность оснащения вакуумным загрузочным шлюзом;
• DC/RF магнетроны позволяют напылять проводящие и непроводящие материалы;
• Автоматизированная система управления на базе PLC;
• Установка в условиях чистых помещений;
• Высочайшее немецкое качество компонентов и сборки;