Область применения:
Особенности:
Технические характеристики | |
Число секций напыления | до 6 |
Материал ленты | Полиэтилен (PET, PEN), полиимид, металл |
Размер ленты | Ширина: 200 – 2400 мм Длина: 340 – 2000 м (возможна меньшая длина) Толщина: 25 – 200 мкм |
Режимы напыления | DC, MF, RF Термическое испарение |
Осаждаемые материалы | Металлы, диэлектрики, сплавы |
Скорость движения ленты | 0,05 – 5 м/мин |
Температура процесса | От -10 до 600˚С |
Рабочее давление | 1 х 10-6 мбар (опция 8 х 10-7 мбар) |
Время откачки до рабочего давления | Не более 30 мин |
Дополнительные опции | Компоновка системы согласно индивидуальным требованиям заказчика; Шлюзовая загрузка; Станции предварительной и пост очистки поверхности; Использование крионасосов в откачной системе; Дополнительное охлаждение ленты; Установка дополнительного барабана для увеличения производительности; |