Установка для нанесения Париленовых покрытий. Модель LAVIDA-110H
Парилен (Полипараксилилен) – уникальное влагозащитное покрытие. Плёнка формируется одновременно по всей поверхности подложки независимо от профиля её поверхности, и образует на ней защитный однородный по толщине слой. На данный момент достаточно широкое применение нашли три марки парилена: Parylene C, N, D. Париленовое покрытие представляет собой высокополимерное покрытие, которое образуется в вакуумной камере в виде газа в результате испарения. Затем оно осаждается на предназначенный материал, образуя слой толщиной от нескольких нанометров до микрометра. Независимо от формы изделия, оно обладает характеристиками конформного покрытия. Он химически очень стабилен и обладает отличными характеристиками в качестве защитного слоя. Он используется для изоляции электронных и электрических материалов и придания им водонепроницаемости. Это также биосовместимый материал, одобренный FDA, который используется для покрытия поверхностей медицинских устройств, для защиты инженерных устройств и т.д.
Области применения:
- Влагозащитные диэлектрические покрытия для изделий радио микроэлектроники (печатные платы, гибридные
микросборки и др.) - Биосовместимые и биостабильные покрытия для медицины (протезирование, имплантаты, инструмент)
- Защита бумаги (книги, рукописи и др.), картографической продукции, исторических и культурных ценностей
(архивные документы, музейные экспонаты и др.) - Мембраны
- Оптика
Параметр |
LAVIDA-110H |
| Испаритель | Цельный алюминиевый блок (не сварной) Грузоподъемность Димера макс. 100 г Нагреватель испарителя: Макс. 200℃ Дверной нагреватель для тепловой блокировки: макс. 200 ℃ Настройка температуры испарения: До 10 ступеней (Температура и время) В комплект входит 1 контейнер для загрузки димера |
| Пиролизатор | Материал пиролизной трубки: кварц (или Инконель в качестве альтернативы) Размер пиролизной трубки: диаметр 36 мм x Длина 790 мм (для кварца) Нагреватель: макс. 800℃ Обогреватель: 3 х зональный (независимый) Датчик температуры: 2-проводной датчик типа K x 3 (каждый датчик для каждого нагревателя) |
| Камера осаждения | Цельный алюминиевый блок (не сварной) Тип: Горизонтальная камера Рабочее пространство: Диаметр 200 мм x Длина 420 мм Загрузочная пластина подложки и вращение Откачная линия с одним входом и 2 выходами для равномерного потока |
| Контроллер | Контроллер: DSP встроенный контроллер сигнала Полностью автоматическое и ручное (полуавтоматическое) управление с помощью 10,2-дюймового сенсорного ПК Рецепты обработки можно сохранять и создавать рецепты для конкретного пользователя Отображение в реальном времени для мониторинга состояния и ошибок |
| Вакуумный насос | Тип: Масляный роторный насос Производительность насоса: 1000 л/мин при 60 Гц Предельное давление: 1 X 10-3 Торр |
| Размеры | 1 600 мм x 800 мм x 1300 мм (Ш x Г x В) для основной системы 505 мм x 620 мм x 750 мм (Ш x Г x В) для системы охлаждения 283 мм x 736 мм x 360 мм (Ш x Г x В) для вакуумного насоса *Размеры могут варьироваться в зависимости от требований заказчика и обновлений продукта |
Графики роста толщины:
