| Скорость откачки, л/с | N2：1300
He：1000
H2：480
Ar：1250 |
| Коэффициент сжатия | N2：≥1×109
He：≥1×104
H2：≥1×103
Ar：≥1×109 |
| Предельный вакуум, Па | ≤6×10-6（ISO-K）
≤6×10-7（CF） |
| Максимальная газовая нагрузка, ст. см3 | N2：2500
He：1850
H2：1450
Ar：950 |
| Выходное соединение | KF40 |
| Входное соединение | ISO-K200
CF200 |
| Подшипники | Керамические шариковые, консистентная смазка |
| Скорость вращения, об/мин. | 24000 |
| Время запуска, мин. | ≤9 |
| Вибрация, мкм | ≤0.1 |
| Рекомендованная производительность форвакуумного насоса, л/с | 15-18 |
| Рекомендованное стартовое давление, Па | <10 |
| Максимальное давление запуска, Па | N2：600 |
| Максимальное форвакуумное давление, Па | <240 |
| Монтажное положение | Любое |
| Температура отжига, ℃ | ≤100 |
| Охлаждение | Воздушное（5-32℃）
Водяное（5-40℃） |
| Охлаждающая вода | Температура：10-25℃
Давление：0.15МПа
Поток：>1 л/мин. |
| Патрубки подвода охлаждающей воды | Внутренний диаметр Φ10, прямоточные, обжимное быстроразъемное соединение |
| Максимальная мощность, Вт | 500 |
| Вес, кг | 33 (ISO-K)
35 (CF) |
| Комплект поставки | Контроллер;
Кабель питания;
Кабель насос-контроллер;
Струбцины, центрирующее кольцо с сетчатым фильтром и О-образное уплотнительное кольцо Viton (для фланцев ISO-K) или медное уплотнительное кольцо (для фланцев CF); -Руководство пользователя на русском языке;
Гарантийный талон. |
| Патрубки подвода охлаждающей воды | Внутренний диаметр Φ10, прямоточные, обжимное быстроразъемное соединение |
| Вес, кг | 29（FF-200-1300E） |
| 33（FF-200/1300FE） |
| Комплект поставки | Контроллер;
Кабель питания;
Кабель насос-контроллер;
Струбцины, центрирующее кольцо с сетчатым фильтром и О-образное уплотнительное кольцо Viton (для фланцев ISO-K) или медное уплотнительное кольцо (для фланцев CF);
- Руководство пользователя на русском языке;
- Гарантийный талон. |
