| Скорость откачки, л/с | N2：62
He：55
H2：34
Ar：65 |
| Коэффициент сжатия | N2：≥1×109
He：≥1×105
H2：≥1×104
Ar：≥1×109 |
| Предельный вакуум, Па | ≤3×10-5（ISO-K） |
| Максимальная газовая нагрузка, ст. см3 | N2：35
He：30
H2：19
Ar：38 |
| Выходное соединение | KF16 |
| Входное соединение | ISO-K63
CF63 |
| Подшипники | Керамические шариковые, консистентная смазка |
| Скорость вращения, об/мин. | 72000 |
| Время запуска, мин. | ≤2 |
| Рекомендованное стартовое давление, Па | <10 |
| Максимальное давление запуска, Па | N2：1500 |
| Максимальное форвакуумное давление, Па | <500 |
| Монтажное положение | Любое |
| Температура отжига, ℃ | ≤100 |
| Охлаждение | Воздушное（5-32℃）
Водяное（5-40℃） |
| Охлаждающая вода | Температура：10-25℃
Давление：0.15МПа
Поток：>1 л/мин. |
| Максимальная мощность, Вт | 90 |
| Вес, кг | 2,6 (ISO-K)
3,5 (CF) |
| Комплект поставки | Блок управления;
Кабель питания;
Кабель управления;
Струбцины, центрирующее кольцо с сетчатым фильтром и О-образное уплотнительное кольцо Viton (для фланцев ISO-K) или медное уплотнительное кольцо (для фланцев CF); -Руководство пользователя на русском языке;
Гарантийный талон. |
