| Скорость откачки, л/с | N2:2300 He:2250 H2:190 Ar:850 |
| Коэффициент сжатия | N2:≥1×107 He:≥1×107 H2:≥1×104 Ar:≥1×103 |
| Предельный вакуум, Па | ≤2×10-7(ISO-K, ISO-F) ≤1×10-7(CF) |
| Максимальная газовая нагрузка, ст. см3 | N2:3600 He:140 H2:2800 Ar:2100 |
| Выходное соединение | KF40 |
| Входное соединение | ISO-K250 CF250 |
| Подшипники | Полный магнитный подвес |
| Скорость вращения, об/мин. | 27000 |
| Время запуска, мин. | ≤8 |
| Рекомендованное стартовое давление, Па | <10 |
| Максимальное давление запуска, Па | N2:250 |
| Максимальное форвакуумное давление, Па | <60 |
| Монтажное положение | Любое |
| Охлаждение | Водяное(5-40℃) |
| Охлаждающая вода | Температура:10-20℃ Давление:0.15МПа Поток:>1 л/мин. |
| Патрубки подвода охлаждающей воды | Внутренний диаметр Φ10, прямоточные, обжимное быстроразъемное соединение |
| Вес, кг | 59 (ISO-K, ISO-F) 62 (CF) |
| Комплект поставки | Интегрированный контроллер; Кабель питания; Струбцины, центрирующее кольцо с сетчатым фильтром и О-образное уплотнительное кольцо Viton (для фланцев ISO-K) или медное уплотнительное кольцо (для фланцев CF); Руководство пользователя на русском языке; Гарантийный талон. |
| |