| Скорость откачки, л/с | N2：1400
He：1360
H2：880
Ar：560 |
| Коэффициент сжатия | N2：≥1×107
He：≥1×107
H2：≥1×104
Ar：≥1×103 |
| Предельный вакуум, Па | ≤2×10-6（ISO-K, ISO-F
≤1×10-6（CF） |
| Максимальная газовая нагрузка, ст. см3 | N2：2700
He：980
H2：2000
Ar：1800 |
| Выходное соединение | KF40 |
| Входное соединение | ISO-K200
CF200 |
| Подшипники | Полный магнитный подвес |
| Скорость вращения, об/мин. | 30000 |
| Время запуска, мин. | ≤6 |
| Рекомендованное стартовое давление, Па | <10 |
| Максимальное давление запуска, Па | N2：210 |
| Максимальное форвакуумное давление, Па | <100 |
| Монтажное положение | Любое |
| Охлаждение | Водяное（5-40℃） |
| Охлаждающая вода | Температура：10-20℃
Давление：0.15МПа
Поток：>1 л/мин. |
| Патрубки подвода охлаждающей воды | Внутренний диаметр Φ10, прямоточные, обжимное быстроразъемное соединение |
| Вес, кг | 50 (ISO-K, ISO-F)
52 (CF) |
| Комплект поставки | Интегрированный контроллер;
Кабель питания;
Струбцины, центрирующее кольцо с сетчатым фильтром и О-образное уплотнительное кольцо Viton (для фланцев ISO-K) или медное уплотнительное кольцо (для фланцев CF);
Руководство пользователя на русском языке;
Гарантийный талон. |
