ДОСТАВКА ПО РОССИИ И СТРАНАМ СНГ
РЕЖИМ РАБОТЫ
09.00-18.00, пн-пт
Корзина (0)
Установка плазмохимического/реактивно-ионного травления Vision 322 PE/RIE
- диэлектриков: оксидов, нитридов, оксидов металлов
- металлов (Al, Ti, W и др.)
- материалов: кремний, германий, GaAs, GaN, InP, InGaAs
- полимеров: фоторезист, полиимиды, BCB, SU-8
Особенности:
- Идеально подходит для исследований, разработок, пилотного производства
- Возможность проводить изотропные и анизотропные процессы травления
- Групповая и одиночная обработка пластин размером до 12"
- Высокая равномерность (<±3%)
- Низкий уровень дефектности
- Надежность
- Минимальные интервалы технического обслуживания
- Компактный размер
| Технические характеристики | |
| Размер столика (электрода) | ~12" (300мм) |
| Температура столика (электрода) | 5-40⁰С |
| Материал столика (электрода) | Алюминий с графитовым покрытием |
| RF мощность верхнего электрода | 600Вт, 13,56МГц, емкостной разряд |
| Вакуумный насос | 250 л/с турбонасос Edwards (с керамическими подшипниками) |
| Минимальное давление | <1x10e-6 Торр |
| Контроль давления | Автоматический, 0-1 Торр |
| Газовые линии | 4 линии (цифровые MFC) |
| Система контроля | PLC, DeviceNet (нет совместимости с SECS/GEM) |
| Операционная оболочка | PLC (на базе Windows XP/7) |
| Требования к электропитанию | 25А, 200/208В, 60Гц, 3 фазы 16А, 380/400В, 50Гц, 3 фазы |
| Размеры | Высота 117,2см (214,7см с газораспределительным шкафом) Глубина 93,4см Ширина 73,0 см |
| Опции | Endpoint: OES/Laser; Сухой форвакуумный насос; Турбонасос с магнитным подвесом; Дополнительные газовые линии (до 10 линий); Увеличенный диапазон температуры электрода (от-25⁰С до +40⁰С); |