В августе 2023 года ООО "Зэнко Плазма" были поставлены и успешно введены в эксплуатацию в НИИ Точного приборостроения сразу две установки: Установка плазменной обработки поверхности COVANCE-RF-RIE-2MP для очистки, подготовки и активации поверхности перед нанесением покрытий, а также установка настольная напылительная DCR-F для нанесение покрытий на оптические элементы.
С помощью установки COVANCE-RF-RIE-2MP возможна обработка кремниевых пластин в COx, CxHy, NH3, циклоаминах, карбоксилах; формирование на поверхности функциональных групп для последующего нанесения сложной органики.
С помощью установки DCR-F возможна нанесение тонкого углеродного покрытия на металлические образцы для изучения с помощью СЭМ.
Более подробно ознакомиться с особенностями установок можно в разделе «Плазменная обработка поверхности» и «Настольные установки напыления».